光學(xué)膜厚儀是一款精準(zhǔn)又好用的薄膜厚度測(cè)量設(shè)備。它能測(cè)低至20納米的超薄薄膜，測(cè)量誤差小于1納米，最快每秒可測(cè)100次，重復(fù)測(cè)量精度高達(dá)0.05納米。它采用雙光源組合，覆蓋紫外到紅外全光譜，抗干擾能力強(qiáng)，在振動(dòng)或復(fù)雜環(huán)境下也能穩(wěn)定工作。

產(chǎn)品型號(hào)：LJ-FT50UV

更新時(shí)間：2026-03-12

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：50

產(chǎn)品咨詢 19053605661

product

產(chǎn)品分類

其他檢測(cè)儀器

膜厚儀夜視儀管線探測(cè)儀測(cè)距儀張力儀顆粒分析儀質(zhì)構(gòu)儀氧彈量熱儀油品閃點(diǎn)測(cè)定儀測(cè)金儀接觸角測(cè)量儀快速油質(zhì)分析儀油品檢測(cè)儀鐵譜儀鐵量儀物性質(zhì)構(gòu)分析儀便攜式鐵磁性磨屑測(cè)量儀便攜式油液污染度檢測(cè)儀全自動(dòng)閃點(diǎn)測(cè)定儀全自動(dòng)噴霧粒度儀濕法激光粒度分析儀偏光應(yīng)力儀手持式智能全樣本毒-品檢測(cè)儀便攜式全自動(dòng)運(yùn)動(dòng)粘度測(cè)定儀定量采樣機(jī)器人便攜式油液顆粒計(jì)數(shù)器鐵磁性磨屑分析儀多普勒測(cè)風(fēng)雷達(dá) 邊坡監(jiān)測(cè)雷達(dá) 工業(yè)視頻內(nèi)窺鏡油氣回收檢測(cè)儀雷達(dá)生命探測(cè)儀多模復(fù)合生命探測(cè)儀誘騙式主動(dòng)防御系統(tǒng) 便攜式無人機(jī)干擾系統(tǒng) 無人機(jī)全頻干擾設(shè)備雷達(dá)探測(cè)設(shè)備離子色譜柱 TXRF微量元素分析儀水質(zhì)X射線熒光光譜儀流動(dòng)注射分析儀光譜測(cè)金儀漏水檢測(cè)儀聲學(xué)成像儀

tel-phone

查看全部

article

相關(guān)文章

詳細(xì)介紹在線留言

品牌	藍(lán)景	價(jià)格區(qū)間	10萬-20萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,綜合

在質(zhì)量控制環(huán)節(jié)，藍(lán)景反射膜厚儀的無損特性可實(shí)現(xiàn)全檢、抽檢、重復(fù)檢測(cè)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)膜厚不均、缺陷、偏移等問題，提升產(chǎn)品良率。相比傳統(tǒng)破壞性檢測(cè)方法，藍(lán)景方案既保證檢測(cè)準(zhǔn)確性，又保留樣品完整性，適用于研發(fā)打樣、制程監(jiān)控、出廠檢驗(yàn)全流程。選擇藍(lán)景，就是選擇高效、安全、低成本的無損膜厚檢測(cè)方案，為精密樣品保駕護(hù)航。

一、產(chǎn)品簡介

光學(xué)膜厚儀是一款精準(zhǔn)又好用的薄膜厚度測(cè)量設(shè)備。它能測(cè)低至20納米的超薄薄膜，測(cè)量誤差小于1納米，最-快每秒可測(cè)100次，重復(fù)測(cè)量精度高達(dá)0.05納米。它采用雙光源組合，覆蓋紫外到紅外全光譜，抗干擾能力強(qiáng)，在振動(dòng)或復(fù)雜環(huán)境下也能穩(wěn)定工作。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)膜厚儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體與微電子制造、顯示面板、光學(xué)器件制造、生物醫(yī)學(xué)、汽車及新材料與新能源研發(fā)等領(lǐng)域，能滿足從晶圓鍍膜、顯示面板薄膜到光學(xué)元件鍍膜、醫(yī)用植入物涂層、汽車玻璃膜層及新能源薄膜的高精度厚度檢測(cè)需求，助力各行業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量與研發(fā)效率。

光學(xué)膜厚儀

三、測(cè)試原理

反射膜厚儀基于白光干涉原理工作，光源發(fā)出的寬帶光入射至待測(cè)薄膜表面后，經(jīng)薄膜上下表面反射形成的兩束反射光會(huì)因光程差產(chǎn)生干涉，干涉信號(hào)中包含薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等關(guān)鍵信息，設(shè)備通過探頭采集干涉后的反射光譜，對(duì)特定波段范圍內(nèi)的光譜進(jìn)行模型擬合后，即可反演解析出薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)及粗糙度等參數(shù)，整個(gè)系統(tǒng)由高強(qiáng)度組合光源提供寬光譜入射光，經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)傳輸至樣品，反射光返回后由高速光譜模塊采集信號(hào)，最終通過上位機(jī)軟件完成數(shù)據(jù)處理與結(jié)果輸出。
四、產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 精準(zhǔn)測(cè)量：支持20nm超薄膜厚檢測(cè)，準(zhǔn)確度±1nm、重復(fù)精度0.05nm，滿足精密檢測(cè)需求；

2. 高速采樣：最-高采樣速度100Hz，適配產(chǎn)線快速檢測(cè)，提升測(cè)量效率；

3. 寬光譜覆蓋：采用氘鹵組合光源，光譜覆蓋紫外至近紅外，可解析單層/多層膜厚；

4. 強(qiáng)抗干擾性：高靈敏度元器件搭配抗干擾光學(xué)系統(tǒng)+多參數(shù)反演算法，復(fù)雜環(huán)境下測(cè)量穩(wěn)定；

5. 靈活易適配：支持自定義膜結(jié)構(gòu)測(cè)量，設(shè)備小巧易安裝，配套軟件及二次開發(fā)包，適配實(shí)驗(yàn)室/產(chǎn)線多場(chǎng)景。

五、技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	LJ-FT50UV	LJ-FT50NIR
建議工作距離	非聚焦光束，安裝距離5至10mm	安裝側(cè)面出光附加鏡時(shí)：34.5mm±2mm；軸向出光時(shí)：55mm±2mm；
測(cè)量角度	±10°	±5°
光斑類型	彌散光斑；在10mm安裝距離時(shí)，光斑直徑約為4mm；	聚焦光斑；約200μm
探頭外徑*長度	Φ6.35*3200mm3	Φ20*73mm
探頭重量	190g	108g（探頭）、49g（附加鏡）
光源類型	氘鹵光源	鹵素光源
波長范圍	190-1100nm	400-1100nm；1000-1700nm
測(cè)厚范圍	約20nm~50μm（折射率1.5時(shí)）	約50nm~50μm（折射率1.5時(shí)）
適配探頭	UV-VIS	VIS-NIR軸向； VIS-NIR徑向；（標(biāo)配其一）
可連探頭數(shù)量	1
探頭防護(hù)等級(jí)	IP40
重復(fù)精度	0.05nm
準(zhǔn)確度	<±1nm或±0.3%（取較大值）
采樣頻率	Max.100Hz（視求解參數(shù)復(fù)雜度而定）
測(cè)控軟件	專用上位機(jī)軟件
電源電壓	220V±20V50HzAC/
最-大功率	50W
工作溫度	-10至+40℃
相對(duì)濕度	20%至85%RH（無冷凝）
控制器重量	約5000g